1、所有设备都要检查在运输中有无损坏。有疑问的或损坏的物品应该隔离在无尘室外或保护起来，待采取适当的行动。可能时，运输用的板条箱应该在洁净室邻近的未受控的环境内拆封。所有硬纸板和重型脱屑的材料都应先拆封，再运进受控环境。如果没有预包装，则设备的所有表面都应该预清洁，然后再运进洁净区。设备最好在气闸内进行清洁。
2、无尘室设备安装前，应在建设单位和有关方的参加下进行开箱检查，并做好开箱及其验收记录。根据排风处理设备的功能或处理技术的复杂程度，必要时应进行设备出厂前的验收，具体出厂验收内容和要求应在合约中规定。
3、安装无尘室设备的有效方法是把设备与无尘室环境的其余部分隔离开，用临时的隔离墙或隔断设备周围，设备周围留出足够的空间，保证不妨碍设备的安装。
4、如果可能就通过服务通道或其它非关键区进入隔离区。如果不可能，应采取措施尽量减少由结构造成的污染。流向该隔离区的气流应该保持中性压力或负压，避免气流强制流出工作区带来污染的可能性。
5、完全密封的隔离区不应从内部加压，否则污染可能会穿透屏障，影响周围的洁净室。隔离区内应该阻断洁净空气的送风，避免给周围的洁净室造成压力。 如果只有通过相邻的无尘室才能进入隔离区，应该采用粘性垫，除掉鞋子上带的污染。进入隔离区后，可能要求用一次性靴子或鞋套来避免污染洁净服。离开隔离区前要把这些一次性物品脱下。
6、要特别注意设备护板后面和设备下面区域的清洁。
7、对所有适当的内腔室和所有与产品接触或涉及产品传递的表面都要进行擦拭，达到要求的洁净度级别。
以上几点内容就是无尘室设备安装需要注意的事项了
返回
